horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3

控制壓力范圍0.02Bar-9.5Bar， DeviceNet數(shù)字通訊， IGS接口

暢銷型號(hào)：UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、UR-Z717M、UR-Z717-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

UR-Z714M-B是UR-Z700系列的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力，數(shù)字式DeviceNet通訊，可以選擇IGS管路接口，也可選擇1/4"MVCR接口。

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3 是UR-Z714M-B的模塊化接口IGS形式。節(jié)省控制尺寸，實(shí)現(xiàn)管路的模塊化設(shè)計(jì)。

概述

HoribaSTEC UR-Z700系列是高性能自動(dòng)壓力控制器，又稱UPC，帶有高精度壓力傳感器和高分辨率、快速響應(yīng)的壓電閥。根據(jù)接收到的外部控制信號(hào)控制壓力。

UR-Z712M、UR-Z722M、UR-Z732M、UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、支持模擬輸出和RS485通訊

UR-Z714M、UR-Z724M、UR-Z734M、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B 支持DeviceNet™ 通訊模式。

UR-Z717M、UR-Z727M、UR-Z737M、UR-Z717M-B、UR-Z727M-B、UR-Z737M-B 支持EtherCAT通訊模式。

產(chǎn)品性能:

· 分兩種應(yīng)用：入口控制型（-M-B 型）和出口控制型

· 消除大流量氣路切換引起的串?dāng)_影響（出口控制型）

· 快速響應(yīng)：0.5 秒內(nèi)

· 靈活的設(shè)計(jì)：可以安裝在任何位置，適用于各種氣體供應(yīng)系統(tǒng)

· 進(jìn)氣壓力多種選擇：表壓、絕對(duì)壓力

· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)（UR-Z704 系列）

· 超潔凈：全金屬結(jié)構(gòu)

參數(shù)表

產(chǎn)品背面圖

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3

應(yīng)用案例

周邊產(chǎn)品

Horiba品牌介紹：

HORIBA是全球著名的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，主要提供氣體質(zhì)量流量控制器、液體質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導(dǎo)體設(shè)備PECVD、MOCVD、Etch等關(guān)鍵工藝有非常廣泛的應(yīng)用。

壓力控制器暢銷型號(hào)

UR-Z712M-B、UR-Z722M-B、UR-Z732M-B、UR-Z714M-B、UR-Z724M-B、UR-Z734M-B、GR-312F、GR-317F、GR-511F、GR-224FD。

與horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3 配套的有 質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器

暢銷型號(hào)：

SEC-D500、SEC-Z700X、SEC-Z700S

進(jìn)口高性能數(shù)字型號(hào): SEC-Z512KX、SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z532MGX、SEC-Z514KX、SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGXN、SEC-Z534MGX、SEC-Z517MGX

SEC-Z527MGXN.

液體質(zhì)量流量控制器：LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、

液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F60M。

用于質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)定的皂膜流量計(jì)SF-1U、SF-2U。

horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z714M IGS 14W3在MOCVD中的應(yīng)用。

電力電子領(lǐng)域的許多行業(yè)使用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)作為激光二極管、LED和半導(dǎo)體制造的標(biāo)準(zhǔn)工藝。MOCVD工藝是一種可控的合成方法，它使用了多種MO源，如三甲基銦(TMI)和二乙基鋅(DEZ)，需要一種穩(wěn)健的傳遞方法，以確保沉積過(guò)程的重復(fù)性和高收率。MOCVD系統(tǒng)利用起泡器汽化，從而控制MO源濃度、生長(zhǎng)時(shí)間和生長(zhǎng)速率。部分MO源用載氣流帶出源瓶，并從起泡器流向腔室。在這個(gè)過(guò)程中捕獲的MO源的濃度必須是已知的，而且最重要的是必須具有重復(fù)性，以提供最大的工藝效率。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要精確、快速和理想的過(guò)程變量的閉環(huán)控制，包括氣體流量、溫度和壓力。

HORIBA的MOCVD產(chǎn)品組合為MOCVD沉積工藝的所有變化提供了解決方案，包括高精度熱質(zhì)量流控制器(MFC)SEC-Z512、背壓壓力控制器UR-Z714M-B和非色散紅外光譜(NDIR)濃度監(jiān)視器，已被證明可用于挑戰(zhàn)性的MOCVD應(yīng)用。HORIBA還提供了一種干涉測(cè)量終點(diǎn)監(jiān)測(cè)技術(shù)，可應(yīng)用于關(guān)鍵工藝環(huán)境。