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Horiba質(zhì)量流量控制器SEC-N100系列特點(diǎn)：$n1、直接測(cè)量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量$n2、工作穩(wěn)定可靠$n3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬$n4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境$n5、多種實(shí)時(shí)在線測(cè)控功能$n6、可擴(kuò)展性好

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horiba IGS氣體質(zhì)量流量計(jì)Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z514MGX/Z524MGX$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n數(shù)字通訊：DeviceNet

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號(hào)輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進(jìn)口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG質(zhì)量流量控制器Horiba N100$n特點(diǎn)：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數(shù)字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。